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Wolframtarget

Analogen

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technische Merkmale

eine Wolfram Sputtertarget hat außergewöhnliche Wärmebeständigkeit (Temperatur pl. Tungsten ist + 3422 ° C), hohen Elastizitätsmodul und thermische Kriechfestigkeit, minimale Wärmeausdehnungskoeffizienten im Vergleich mit anderen Materialien, die Festigkeit und Haltbarkeit.

Die physikalische Qualität

Beschreibung Bezeichnung
Die Temperatur, bei der die empfangenen Datenmerkmale t C ° 20 ° C
Der Koeffizient der linearen Wärmeausdehnung α [1 / deg] 43x10 -6
Legierung Dichte [g / cm3] 19.3
Reiß kg / mm 2 35
Spezifische Wärme bei 20 ° C mit [kJ / (kg · °)] 0,134
Wärmeleitfähigkeit K [W / (m · K)] 300,173
Der elektrische Widerstand R Omxmm 2 / m 0054

Tungsten Ziel ist nicht genug, Kunststoff und starr bei normalen Temperaturen. Die Nachteile sind die Schwierigkeiten bei der Gewinnung von reinem Wolfram, ein großer Teil (wie Gold) und Sprödigkeit bei niedriger Temperatur. Tungsten Ziel wegen seiner außergewöhnlichen Eigenschaften zu verarbeiten (Walzen, Ziehen und Schmieden) nur mit erheblichen Erwärmung.

Produktion und Anwendung

Tungsten Ziele werden in Form von flachen Scheiben, Platten und Rohre Ihrer Anwendung mit den Toleranzen und Abmessungen, je nach Kundenwunsch Zeichnungen. Für Wolfram Ziele von komplexeren Formen der angewandten Pulver Bearbeitung von Stangen, die mit Kupfer imprägniert sind. Nach Abschluss der Verarbeitung von Kupfer im Vakuum gebrannt, und das Pulver so verdichtet Barrens auf 90% Dichte. Wolfram Rohr durch Ultraschallformstäben. Die Kosten werden durch die Komplexität der Größe, Konfiguration und zusätzliche Anforderungen festgelegt, die in der Reihenfolge angegeben sind. Die Reinheit des Materials und die strikte Einhaltung der Produktionstechnologie garantiert eine hohe Festigkeit und Wärmebeständigkeit. Wolfram-Targets zur Abscheidung von Dünnfilmen auf einem Glas optischen Vorrichtungen, Solarzellen usw. verwendet.

Tungsten Ziel und ihre Marken:

  • Die PM-
  • VA
  • TSSVD
  • In-MRP

Die maximale Menge eines flachen Ziel:

  • discoid Zieldurchmesser von 630 mm;
  • rechteckigen Ziel: 400x1550 mm;

die üblichen Parameter des Ziels:

  • 0.710 «x 4,75» x 44.000 «
  • 304,8x304,8x3,17 bis 9,5 mm
  • 812x127x8 mm
  • 15x133x778mm
  • 18x248x300 mm
  • 214x1600x11mm
  • 14x108x1462mm
  • Durchmesser 322 mm x δ
  • 152XØvn132.5xL750 mm Durchmesser
  • Durchmesser 152xØvn125xL800mm
  • 157xØvn125L1900 mm Durchmesser
  • Durchmesser mm 168h Øvn144hL1000
  • 165,5XØvn125xL1650 mm Durchmesser

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