GOST 16153-80

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  ГОСТ 16153-80

GOST 16153−80 Germanium monokristalline. Technische Daten (Änderungen von N 1, 2, 3, 4)

GOST 16153−80

Gruppe В51

INTERSTATE STANDARD

GERMANIUM MONOKRISTALLINE

Technische Daten

Monokristallines germanium. Specifications

OKP 17 7441

Datum der Einführung 1981−01−01

INFORMATION

1. ENTWICKELT UND EINGEFÜHRT durch das Ministerium für Metallurgie der UdSSR

2. GENEHMIGT UND IN Kraft gesetzt durch die Verordnung des Staatlichen Komitees der UdSSR nach den Standards von 14.03.80 N 1167

3. IM GEGENZUG GOST 16153−70

4. REFERENZIELLE NORMATIV-TECHNISCHE DOKUMENTE

5. Die Beschränkung der Laufzeit aufgehoben durch das Protokoll N 3−93 des Zwischenstaatlichen rates für Normung, Metrologie und Zertifizierung (IUS 5−6-93)

6. AUFLAGE mit den Änderungen von N 1, 2, 3, 4, genehmigt im Dezember 1984, Mai 1988, Juli 1990, Februar 1993 (IUS 4−85, 8−88, 10−90, 9−93)

Diese Norm gilt für monokristalline Barren Deutschland, verwendet für die Herstellung von Halbleiterbauelementen und legt die Anforderungen an монокристаллическому Deutschland, изготовляемому für die Bedürfnisse der Volkswirtschaft.

1. TECHNISCHE ANFORDERUNGEN

1.1. Monokristalline Deutschland Barren herstellen in übereinstimmung mit den Anforderungen dieser Norm E-Typ-Leitfähigkeit, Antimon legiert, und дырочного Typ Leitfähigkeit, Gallium dotierte, nach technischen Unterlagen, genehmigt in der festgelegten Reihenfolge.

1.2. Crystallographic Orientierung von monokristallinen Ingots (III).

1.3. Der Grenzwert für die Abweichung der Ebene dem Cutoff von monokristallinen Ingots Deutschland von der Ebene der Orientierung (III) sollte nicht mehr als 2°.

(Geänderte Fassung, Bearb. N 1).

1.4. Monokristalline Barren nach Deutschland допускаемому relativen Abweichung der Werte des spezifischen elektrischen Widerstands der Stirnseiten des Nennwerts muss Untergruppen, die in Tabelle.1.

Tabelle 1

Die Auswahl der nominalen Werte des spezifischen elektrischen Widerstands von monokristallinen Ingots erfolgt in übereinstimmung mit GOST 8032 in den Reihen:

— für den spezifischen elektrischen Widerstand von 0,1 bis 1 Ω·cm — 0,1; 0,12; 0,15; 0,2; 0,25; 0,31; 0,4; 0,5; 0,63; 0,8; 1 OHM·cm;

— für den spezifischen elektrischen Widerstand von 1 bis 10 OHM·cm — 1,1; 1,40; 1,8; 2,2; 2,8; 3,5; 4,5; 5,6; 7,1; 9 OHM·cm;

— für den spezifischen elektrischen Widerstand von 10 bis 45 OHM·cm — 11,2; 14; 18; 22,4; 28; 35,5; 45 OHM·cm

(Geänderte Fassung, Bearb. N 1).

1.5. Die Dichte der Versetzungen und die geometrischen Abmessungen monokristalline Ingots Deutschland müssen die Anforderungen der Tabelle.2.

Tabelle 2

Auf Wunsch des Kunden monokristallinen Ingots Deutschland GE G1 9 herstellen mit einem Durchmesser von 40 bis 50 mm.

Monokristalline Ingots Deutschland 1 Untergruppen nach der Dichte der Versetzungen und Versetzungen mit einer Dichte von 1·10-2·10cm2 Untergruppen nach der Dichte der Versetzungen herstellten bis 01.01.91.

(Geänderte Fassung, Bearb. N 1, 2).

1.6. Der Unterschied zwischen dem größten und dem kleinsten Durchmesser der einzelnen monokristallinen Barren sollte nicht mehr als 4 mm.

1.7. In monokristallinen Barren Deutschland Untergruppen 2 und 3 fehlen die Gesamtlänge малоугловых Grenzen einer Länge von mehr als mittlerer Durchmesser der monokristallinen Ingots.

1.8. Die Beweglichkeit der wichtigsten Ladungsträgern in monokristallinen Barren Deutschland in Abhängigkeit vom spezifischen elektrischen Widerstand und dem Typ der elektrischen Leitfähigkeit muss innerhalb der oben beschriebenen Grenzen in der Tabelle.3.

Tabelle 3

(Geänderte Fassung, Bearb. N 2).

1.9. Monokristalline Barren Deutschland darf keine äußeren Mängel: Chips, die größer als 3 mm, Rissen und Lunkern sowie die inneren Schalen und Risse, die beim schneiden der erkennbaren monokristallinen Barren.

1.10. Монокристалличность Deutschland, Crystallographic Ausrichtung der Längsachse von monokristallinen Ingots, Grenzwert für die Abweichung der Ebene des Schnittes von monokristallinen Ingots von der Orientierung der Ebene (III), die Beweglichkeit der wichtigsten Ladungsträger, die Dichte der Versetzungen für die Untergruppen 1 und die Abwesenheit von inneren Schalen und Risse werden durch die Technologie der Herstellung.

(Geänderte Fassung, Bearb. N 2).

1.11. Codes OKP sind im Anhang 7.

(Zusätzlich eingeführt, Bearb. N 1).

1.12. Monokristalline Ingots Deutschland, dotierte Gallium, kristallographischen Orientierung (100) werden mit einem Durchmesser von mindestens 20 mm, Nennwert spezifischen elektrischen Widerstand 0,4 und 0,45 OHM·cm, mit der zugelassenen relativen Abweichung der Werte des spezifischen elektrischen Widerstands von ±10%, einer Dichte von Versetzungen nicht mehr als 10 cm, Dichte der defekte недислокационного Herkunft nicht mehr als 10 cm, einer Länge von monokristallinen Ingots 50−120 mm.

Die Norm der Dichte der defekte недислокационного Herkunft und spitzenlänge von monokristallinen Ingots bis 01.01.92 браковочными nicht sind.

(Zusätzlich eingeführt, Bearb. N 3).

Beispiele schemasymbols

Monokristalline Barren Deutschland E-Typ-Leitfähigkeit, mit einem Nennwert von spezifischen elektrischen Widerstands 14, Untergruppen B und 3:

GE 14б3 GOST 16153−80

Das gleiche дырочного-Typ-Leitfähigkeit, mit einem Nennwert von spezifischen elektrischen Widerstands 45, Untergruppen und 1:

DG 451 GOST 16153−80

2. REGELN DER ANNAHME

2.1. Monokristalline Germanium Parteien nehmen. Die Partei muss bestehen aus einer monokristallinen Barren. Приемосдаточным Tests unterzogen monokristalline Barren, die Definition: Typ der elektrischen Leitfähigkeit, der Wert des spezifischen elektrischen Widerstands; der versetzungsdichte; die Verfügbarkeit und die Gesamtlänge des малоугловых Grenzen für Untergruppen 2,3; geometrische Abmessungen und äußere Mängel; für Deutschland mit kristallographischen Orientierung (100) — Dichte der defekte недислокационного Herkunft.

Bestimmung der Dichte von Defekten недислокационного Herkunft durchgeführt für einen Satz von statistischen Daten.

Regelmäßige Prüfungen nach garantierten Parametern (nach Anspruch 1.10) wird eine monokristalline Barren, mindestens einmal im Quartal.

(Geänderte Fassung, Bearb. N 2).

2.2. Jeder monokristallinen Ingot Deutschland begleitet Dokument über die Qualität, die enthalten sollte:

— Marken-oder Produktname und Markenzeichen des Herstellers;

— name-Produkte und Ihre Marke;

— Zimmer monokristallinen Ingot;

— Typ Leitfähigkeit;

— der Wert des spezifischen elektrischen Widerstands und seine Abweichungen von der gewählten Sollwertes;

— der Wert der mittleren Dichte der Versetzungen in den oberen und unteren Stirnseiten von monokristallinen Ingots für die Untergruppen 2 und am unteren Ende von monokristallinen Ingots für die Untergruppe 3;

— Länge und Durchmesser der monokristallinen Ingots in Millimetern;

— Gewicht in Gramm Netto;

— Datum der Herstellung;

— Stempel der technischen Kontrolle;

— die Bezeichnung dieser Norm;

— Stempel der staatlichen Abnahme (für Unternehmen, in denen eingeführt госприемка).

(Geänderte Fassung, Bearb. N 1, 2).

3. ÜBERWACHUNGSMETHODEN

3.1. Überprüfung Deutschland auf монокристалличность verbringen visuell ohne den Einsatz von Vergrößerung und ohne weitere Verarbeitung monokristalline Ingots.

(Geänderte Fassung, Bearb. N 1).

3.2. Typ Leitfähigkeit Deutschland sondern auf jeder der Stirnseiten von monokristallinen Ingots nach der Methodik in Anhang 1.

3.3. Kristallographische Orientierung von monokristallinen Ingots und die Abweichung der Ebene von der Maserung des Orientierung (III) bestimmen, nach den Methoden, die in den Anhängen 2 und 3.

Im Falle von Meinungsverschiedenheiten bei der Beurteilung der Qualität die Bestimmung erfolgt nach den Röntgen-Methodik (Anhang 2).

3.4. Der spezifische elektrische Widerstand des monokristallinen Barren Messen nach GOST 24392 auf beiden Stirnseiten in Punkten — ein Mittel-und vier Stirnseiten im peripheren Bereich gemäß der Zeichnung. Die Lage der Sonden senkrecht zu dem Radius des Rohlings.

Die relative Abweichung der Werte des spezifischen elektrischen Widerstands Stirnseiten des Nennwerts des spezifischen elektrischen Widerstandes berechnet durch die Formel

,

wo  — die relative Abweichung der Werte des spezifischen elektrischen Widerstands des Nennwerts;

,  — die maximalen und minimalen Werte des spezifischen elektrischen Widerstands aus den Ergebnissen der Messungen an fünf Punkten;

 — der Nennwert des spezifischen elektrischen Widerstands.

(Geänderte Fassung, Bearb. N 2).

3.5. Die Dichte der Versetzungen auf der Ebene (III) und eine Gesamtlänge малоугловых Grenzen bestimmen, die am unteren Ende von monokristallinen Ingots Deutschland nach der Methodik in Anhang 5.

Für die Untergruppe 2 der Wert der mittleren Dichte der Versetzungen bestimmen die auf oberen und unteren Stirnseiten des monokristallinen Barren.

(Geänderte Fassung, Bearb. N 1, 4).

3.6. Der Durchmesser misst an den beiden enden und in der Mitte des monokristallinen Ingot mit einer Abweichung von nicht mehr als 0,5 mm, und die Länge — mit einer Abweichung von nicht mehr als 1 mm мерительным Werkzeug eine VORGEGEBENE Genauigkeit der Messung.

3.6.1. Für den Durchmesser некруглых im Querschnitt monokristalline Ingots nehmen arithmetische Mittel der Messungen der minimalen und maximalen Abmessungen, die durch die Mitte der Querschnittsfläche monokristallinen Barren senkrecht zur Achse des Wachstums.

3.7. Die Masse von monokristallinen Ingots sondern durch Wiegen auf einer Waage mit einer Abweichung von nicht mehr als ±1 G.

3.8. Die Beweglichkeit der wichtigsten Ladungsträger bestimmen auf zwei Proben, gestrandete von den unteren und oberen Stirnseiten der von monokristallinen Ingots, nach dem Verfahren in Anhang 6.

3.8. Die Dichte der Versetzungen auf der Ebene (100) in der monokristallinen Barren Deutschland bestimmen nach dem Verfahren in Anhang 8.

(Zusätzlich eingeführt, Bearb. N 4).

3.9. Die überprüfung monokristalline Ingots auf äußere Mängel führen ohne den Einsatz von Vergrößerung, ohne die zusätzliche Verarbeitung monokristalline Ingots.

4. VERPACKUNG, KENNZEICHNUNG, TRANSPORT UND LAGERUNG

4.1. Jeder monokristallinen Ingot wird in Deutschland ein Paket aus PE-Folie der Marke Mit GOST 10354. Im Paket mit монокристаллическим слитком investieren Dokument über die Qualität.

4.2. Plastiktasche gebraut oder kleben Sie das Band mit einer klebrigen Schicht nach GOST 20477 oder ähnliches und verpackt in einen Karton oder Kunststoff-Box mit einer weichen Auflage. Die Verbindungsstelle des Deckels mit dem Kasten kleben von Polyethylen-Klebeband mit der klebrigen Schicht nach GOST 20477 oder ähnliches, oder den Deckel mit der Box binden der angegebenen Runde Joint Band.

(Geänderte Fassung, Bearb. N 1).

4.3. Auf die Schachtel kleben das Etikett mit dem Hinweis:

— Marke oder Bezeichnung und die Marke des Herstellers

— Produktnamen;

— Belegnummer über die Qualität;

— Masse in Gramm Netto;

— Datum der Herstellung;

— die Bezeichnung dieser Norm.

4.4. Karton oder Kunststoff-Boxen verpackt in die hölzernen Bretter-Kisten-Typ-III-1 nach GOST 2991 oder Kisten aus plattenförmigen Holzwerkstoffen der Klasse III nach GOST 5959 und verdichten Dichtung flexiblem Polyurethan, алигнина nach GOST 12923 oder Wellpappe nach GOST 7376.

Die Masse der Verpackung des Ortes sollte nicht mehr als 50 kg.

In jedes Fach muss geschachtelt sein Packliste mit Angabe:

— Marke oder Bezeichnung und die Marke des Herstellers

— Produktnamen;

— Nettogewicht in Kilogramm;

— Anzahl von monokristallinen Ingots in der Schublade;

— Datum der Verpackung;

— die Familiennamen und die Nummer des Packers.

4.3, 4.4. (Geänderte Fassung, Bearb. N 1, 2).

4.5. Kennzeichnung der Kisten — nach GOST 14192 mit dem auftragen manipulative Zeichen:

«Fragile, Vorsicht»;

«Fernhalten von Feuchtigkeit».

4.6. Monokristalline Germanium auf der schiene transportiert im Planwagen kleine Sendungen in übereinstimmung mit den Regeln der Beförderung der Ladungen, die auf dieser Art von Transport.

Beim Transport von zwei oder mehr Einheiten Verpackung der Produkte führen die Bündelung von Frachten auf den flachen Universal-Paletten nach GOST 9078 mit Hilfe des Stahlbandes nach GOST 3560 oder Draht nach GOST 3282 Durchmesser von mindestens 5 mm.

Abmessungen und Gewicht des Pakets nicht überschreiten Standards GOST 24597.

Zulässig ist der Transport einer einkristallinen Deutschland auf der Straße und per Luftfracht in übereinstimmung mit den Regeln der Beförderung der Ladungen, die auf dieser Art von Transport.

Zulässig ist der Transport einer einzelnen E-Mail-Pakete. Bruttogewicht Postfach Parzelle sollte nicht mehr als 10 kg.

(Geänderte Fassung, Bearb. N 1).

4.7. Monokristalline Ingots Deutschland müssen im Originalbehälter aufbewahrt werden, in den geschlossenen lagerrumen.

5. DIE GARANTIE DES HERSTELLERS

5.1. Der Hersteller bestätigt die Einhaltung monokristalline Ingots Deutschland den Anforderungen dieser Norm unter Beachtung der Bedingungen der Aufbewahrung.

5.2. Die Frist der Ersatz des Materials wird 1 Jahr ab dem Tag der Auslieferung der Produkte.

(Geänderte Fassung, Bearb. N 2).

ANHANG 1 (Pflicht). BESTIMMUNG DER ART DER LEITFÄHIGKEIT

ANHANG 1
Die obligatorische

Typ der elektrischen Leitfähigkeit bestimmen nach der erzeugenden und der Stirnfläche des monokristallinen Barren Methode термозонда (термоэлектродвижущей Kraft) oder die Methode der dot-poligen begradigen.

Methode термозонда (heißer oder kalter Motor) empfohlen für und -Art Deutschland, der spezifische elektrische Widerstand, der bei Raumtemperatur von weniger als 40 Ω·cm

Typ Leitfähigkeit Deutschland mit einem spezifischen elektrischen Widerstand von mehr als 40 OHM·cm bestimmen kaltgepresst термозонда.

Methode dot-poligen Begradigung empfohlen für Proben  — und -Deutschland Typ mit einem spezifischen elektrischen Widerstand größer als 1 OHM·cm

Die wichtigste Methode zur Bestimmung der Art der elektrischen Leitfähigkeit — Methode zur Bestimmung der Vorzeichen der Hall-Koeffizient (siehe Anhang 6).

Im Vergleich zu den empfohlenen Methode besitzen eine größere локальностью und können verwendet werden, um Bereiche mit unterschiedlichen Typen der elektrischen Leitfähigkeit innerhalb eines monokristallinen Barren. Für Materialien mit der elektrischen Leitfähigkeit nahe der eigenen, empfehlen wir die Verwendung der Methode zur Bestimmung der Art der Leitfähigkeit im Zeichen des Hall-Koeffizienten.

1. Bestimmung der Art der elektrischen Leitfähigkeit Methode термозонда

1.1. Das Wesen des Verfahrens

Die Methode besteht in der Bestimmung der Polarität термоЭДС, die sich zwischen beheizten und kühleren Bereichen mit empfindlichen Halbleiter-null-Anzeige.

1 — Sonde; 2 — Probe; 3 — null-Anzeige; 4 — Plakette

Verdammt.1

Temperaturgradient entsteht eine lokale Beheizung (Kühlung) von monokristallinen Ingots in Folge der Spannkraft des erhitzten (gekühlten) der Sonde.

1.2. Instrument

Schematische Darstellung für die Bestimmung der Art der Leitfähigkeit von der Methode des heissen () und kalten термозонда (B) finden Sie auf verdammt.1.

Die Sonde, hergestellt aus einem beliebigen leitfähigen Material; es wird empfohlen, die Verwendung von Materialien, die nicht anfällig für Korrosion, wenn Sie erhitzt oder Betrieb in einer feuchten Umgebung (Z. B. Nickel). Der zweite Kontakt dient Metallplatte aus Kupfer, Blei oder Aluminium.

Indikator — Galvanometer mit einer Empfindlichkeit von mindestens 4·10A/div, beispielsweise vom Typ M-195/2 oder M-195/3. Erlaubt die Verwendung anderer Anzeigegeräte-Geräte mit der Empfindlichkeit nicht unterhalb der angegebenen.

Kühlmittel — flüssiger Stickstoff nach GOST 9293 oder festes Kohlendioxid nach GOST technische 12162.

Die Sonde erhitzt jeder Heizvorrichtung; die Temperatur des heißen Sonde kontrollieren nach dem Schmelzen der Legierung Wood (der Schmelzpunkt von 60,5 °C).

(Geänderte Fassung, Bearb. N 2).

1.3. Vorbereitung der Messungen

Wenn auf der Oberfläche des monokristallinen Barren mit bloßem Auge Spuren von Oxidation, побежалостей von der Oberfläche der monokristallinen Ingots entfernen окисную Film (ätzen, Polieren etc.); monokristallinen Ingots waschen in entionisiertem Wasser und Filterpapier getrocknet. Erlaubt die Messung auf der Oberfläche, die durch schneiden Diamant Werkzeug oder Verarbeitung von abrasiven Materialien.

1.4. Durchführen von Messungen

1.4.1. Drückend erwärmte (gekühlt) Sonde an die Oberfläche der monokristallinen Barren, das in der mess-Schaltung in der Weise, gezeigt am Heck.1, erreichen die Auslenkung null-Anzeige.

1.4.2. Typ der elektrischen Leitfähigkeit bestimmen in übereinstimmung mit den Bezeichnungen der Teufel.1 bei der Abweichung des Pfeils null-Indikator, mehr auf 30% der vollen Skala des Gerätes. Zur Erfüllung dieser Forderung erlaubt die Erhöhung der Temperaturdifferenz zwischen der Sonde und монокристаллическим слитком.

2. Die Definition für den Typ der elektrischen Leitfähigkeit der Methode des dot-poligen Richt

2.1. Das Wesen des Verfahrens

Aufrichtenden Eigenschaften Kontakt Metall-Halbleiter werden durch den Typ der wichtigsten Ladungsträger im Halbleiter. Die Methode basiert auf einer qualitativen Vergleich der widerstände Punkt-Kontakt bei verschiedenen полярностях angelegten Spannung. Typ Leitfähigkeit wird durch die Abweichung der Pfeile empfindlich auf Strom null-Anzeige oder durch Bezugnahme auf вольтамперной Eigenschaften, die auf dem Bildschirm des Oszilloskops.

1 — Punkt-Kontakt (Sender); 2 — monokristalline Barren; 3 — ohmschen Kontakt; 4 — Spartransformator;
5 — null-Anzeige; 6 — Ableitung zu der horizontalen Platte Oszilloskop; 7 — Ableitung an den vertikalen
Platten Oszilloskop; 8 — einstellen des Widerstands

Verdammt.2

2.2. Instrument

Schematische Darstellung für die Bestimmung der Art der Leitfähigkeit Methode der dot-poligen Begradigung mit der Anwendung der null-Indikator () und Oszilloskop (B) finden Sie auf verdammt.2.

-Typ

-Typ

Verdammt.3

In Abhängigkeit vom spezifischen elektrischen Widerstand der Probe und der Empfindlichkeit des Oszilloskops Widerstandswert () kann unterschiedlich sein, aber sollte vollständige scan Oszilloskop auf der vertikalen Achse.

Die Sonde, hergestellt aus Wolfram-oder Stahldraht. Der zweite Kontakt dient Metallplatte aus Kupfer, Blei oder Aluminium. Ohmschen Kontakt zu erhalten auftragen auf die Oberfläche der Probe Pin-Legierung. Zum Beispiel mit Hilfe алюмогаллиевого Bleistift oder Indium-галлиевой Paste.

Anzeigerate — гальванометры mit einer Empfindlichkeit von 4·10A/div, beispielsweise vom Typ M-196/2-oder M-195/3; Oszilloskope, geeignet für die Beobachtung вольтамперных Merkmale Typ C1−5, C1−19, C1−48 oder ähnlich.

2.3. Vorbereitung der Messungen

Wenn auf der Oberfläche des monokristallinen Barren mit bloßem Auge Spuren von Oxidation, побежалостей von der Oberfläche der monokristallinen Ingots entfernen окисную Film (ätzen, Polieren etc.); monokristallinen Ingots waschen in entionisiertem Wasser und Filterpapier getrocknet. Erlaubt die Messung auf der Oberfläche, die durch schneiden Diamant Werkzeug oder Verarbeitung von abrasiven Materialien.

2.4. Durchführen von Messungen

2.4.1. Bei Messungen mit monokristallinen Barren gehören in der mess-Schaltung in der Weise, gezeigt am Heck.2.

2.4.2. Druck der Messsonde auf der Oberfläche der monokristallinen Ingots erreichen Auslenkung null-Anzeige oder erscheinen auf dem Bildschirm des Oszilloskops вольтамперной Eigenschaften der Art, wie in der Hölle.3, was die Lager in der Kette выпрямляющего Kontakt.

Die Abweichung der Pfeile null-Anzeige sollte größer sein als 30% der vollen Skala des Gerätes.

Typ Leitfähigkeit wird in übereinstimmung mit der Hölle.2 und 3.

Die Methode führt nicht quantitativer Merkmale. Die charakteristische Biegung der Kurven (siehe Teufel.3) muss nicht berücksichtigt werden aus quantitativer Sicht.

2.4.3. Bei Verwendung der Methode der dot-poligen Begradigung mit der Anwendung des Oszilloskops nicht die den Typ der elektrischen Leitfähigkeit auf die Eigenschaften des Bildes begradigen, wenn die Eigenschaft hat keine Biegung oder zweimal gebogen.

Ähnliche Effekte treten aufgrund der Anwesenheit -übergänge im Material.

3. Anforderungen an die Qualifikation des Betreibers

3.1. Die Qualifikation der Bediener sollte den Anforderungen der elektrischen Parameter des Messgeräts Halbleitermaterialien der Dritten oder höhere Entladung in übereinstimmung mit den geltenden tarif-zugelassene überschläge.

4. Die Anforderungen an die Arbeitssicherheit

4.1. Das Gerät und die technische Nutzung der verwendeten электроизмерительного Ausrüstung müssen den Anforderungen der «Regeln der technischen Betrieb von elektrischen Verbrauchern* und Sicherheitsregeln beim Betrieb von elektrischen Verbrauchern*", genehmigt Госэлектронадзором.
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* Auf dem Territorium der Russischen Föderation gelten «die Regeln der technischen Ausbeutung der Elektroanlagen der Konsumenten», bestätigt durch das Energieministerium Russlands vom 13.01.2003 N 6 hier und weiter im Text;
** Auf dem Territorium der Russischen Föderation gelten «Branchenübergreifende Regeln zum Arbeitsschutz (Sicherheitsvorschriften) beim Betrieb von elektrischen Anlagen» (POT R M-016−2001, RD 153−34.0−03.150−00), hier und weiter im Text. — Anmerkung des Datenbankherstellers.

Unter den Bedingungen der elektrischen Sicherheit des Kraftwerks, die für die Art der Messung der elektrischen Leitfähigkeit, beziehen sich auf die elektrischen Anlagen mit Spannungen bis 1000 V.